中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所超強(qiáng)激光科學(xué)與技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任林楠，圖片來(lái)自中國(guó)科學(xué)院大學(xué)

林楠團(tuán)隊(duì)并未沿用ASML使用二十年的二氧化碳激光技術(shù)體系，而是尋求固態(tài)激光器方案，實(shí)現(xiàn)了3.42%的轉(zhuǎn)換效率，已超越蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院等西方頂尖機(jī)構(gòu)。林楠團(tuán)隊(duì)認(rèn)為，該平臺(tái)的理論最高效率可以達(dá)到6%，超過(guò)了一些商業(yè)基準(zhǔn)。

2021年，林楠的歸國(guó)被視為中國(guó)半導(dǎo)體人才戰(zhàn)略的關(guān)鍵落子。這位師從諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)得主Anne L’Huillier的頂尖專家，其技術(shù)路線選擇暗含深層考量——研發(fā)方向直指下一代高能效EUV系統(tǒng)，在可持續(xù)性和擴(kuò)展性方面建立技術(shù)儲(chǔ)備。

目前，國(guó)內(nèi)面臨的最大挑戰(zhàn)依然是構(gòu)建完整的EUV光刻生態(tài)系統(tǒng)，也就是說(shuō)中國(guó)要掌握從鏡面光學(xué)元件到光刻膠和平臺(tái)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的所有技術(shù)——而這些領(lǐng)域目前仍由ASML及其全球供應(yīng)商主導(dǎo)。雖然光源只是第一步，但這場(chǎng)半導(dǎo)體領(lǐng)域的”光源革命”，或許正在照亮中國(guó)芯的突圍之路。

崔歡歡