
前ASML首席科學家林楠推動中國EUV最新突破
2025年4月29日,據(jù)南華早報報道稱,國內(nèi)研究團隊成功構建一個以國際競爭參數(shù)運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產(chǎn)先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學院上海光學精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術負責人的林楠領導,這項成果...
2025年4月29日,據(jù)南華早報報道稱,國內(nèi)研究團隊成功構建一個以國際競爭參數(shù)運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產(chǎn)先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學院上海光學精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術負責人的林楠領導,這項成果...
英特爾正準備在D1X 工廠加大對7nm EUV光刻工藝的研發(fā),這座工廠位于美國俄勒岡州,晶圓廠擴建通常需要數(shù)十億美元,而EUV光刻的大規(guī)模采用預計會增加額外成本。 英特爾目前正在努力完善一種稱為極紫外光刻(EUV)的新制造工藝,這將使微芯片...