
前ASML首席科學家林楠推動中國EUV最新突破
2025年4月29日,據南華早報報道稱,國內研究團隊成功構建一個以國際競爭參數運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學院上海光學精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術負責人的林楠領導,這項成果...

2025年4月29日,據南華早報報道稱,國內研究團隊成功構建一個以國際競爭參數運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學院上海光學精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術負責人的林楠領導,這項成果...

在EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創(chuàng)造了新紀錄。據報道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機,預計在2022年開始出貨。根據ASML之前的報告,去年他們出貨了26臺EUV光刻機,預計2...

作為國內最大最先進的晶圓代工廠,中芯國際SMIC在疫情疫情期間依然沒有停產,同時還在擴大14nm等先進工藝產能。日前羊城晚報報道稱,中芯國際進口的荷蘭ASML光刻機順利入廠。 據報道,這次購買光刻機的是中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司,...