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使用SEMulator3D進行虛擬工藝故障排除和研究-DOIT-數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)媒體與服務平臺

使用SEMulator3D進行虛擬工藝故障排除和研究

SEMulator3D 工藝建模在開發(fā)早期識別工藝和設計問題,減少了開發(fā)延遲、晶圓制造成本和上市時間 現(xiàn)代半導體工藝極其復雜,包含成百上千個互相影響的獨立工藝步驟。在開發(fā)這些工藝步驟時,上游和下游的工藝模塊之間常出現(xiàn)不可預期的障礙,造成開發(fā)...

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