五大應用場景:賦能半導體制造全流程
1.晶圓搬運和對位
精密搬運:晶圓制造過程中需要將晶圓從一個工位精準搬運到另一個工位。微型伺服電缸通過其高精度位置控制,確保晶圓在搬運過程中的穩(wěn)定性和定位精度。
對位操作:在光刻和曝光過程中,晶圓的對位精度至關重要。微型伺服電缸可通過微米級的精確調(diào)整,確保對位精度達到工藝要求。
2.封裝設備精密壓合
精確壓力應用:在半導體封裝過程中,微型伺服電缸可用于對芯片施加精確壓力,例如在引線鍵合、塑封等環(huán)節(jié)中,確保施力均勻,避免損壞芯片或封裝不良。
動態(tài)調(diào)節(jié)壓力:隨著不同封裝工藝需求的變化,電缸能夠?qū)崟r調(diào)整壓力參數(shù),滿足多樣化生產(chǎn)需求。
3.測試設備的精密執(zhí)行
?探針測試:在芯片測試設備中,微型伺服電缸能夠精準控制探針的運動和接觸壓力,確保測試數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和準確性。
自動化切換模塊:微型伺服電缸可用于測試過程中的夾緊、釋放或移動芯片模塊,提升測試效率。
4.光刻設備的調(diào)節(jié)模塊
光學平臺的定位:光刻機中需要對光學平臺進行精密定位,微型伺服電缸提供穩(wěn)定的線性運動和高精度控制,確保光學系統(tǒng)的對齊。
5.清洗設備中的精確動作
噴嘴位置調(diào)整:在晶圓清洗過程中,微型伺服電缸可調(diào)節(jié)噴嘴的位置和角度,確保清洗液覆蓋整個晶圓表面。
因時機器人:以底層技術創(chuàng)新推動行業(yè)變革
作為微型伺服電缸開創(chuàng)者,因時機器人持續(xù)突破核心技術,自主研發(fā)電機、減速器、絲杠等核心元器件,保障電缸性能居國際領先水平。通過深入行業(yè)場景了解客戶需求,不斷豐富產(chǎn)品矩陣,通過標準化產(chǎn)品滿足終端客戶批量需求。未來,因時機器人將持續(xù)深化精密運動控制的技術路線,深度服務客戶解決行業(yè)痛點,實現(xiàn)半導體高端設備的國產(chǎn)替代,并達到更高水平,讓“中國智造”享譽世界。